ISBNコード 9784861632969

超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して /東北大学出版会/江刺正喜

商品基本情報

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コード番号 9784861632969
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商品名 超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して /東北大学出版会/江刺正喜
品番/型番 9784861632969
会社名 東北大学出版会
会社名カナ トウホクダイガクシユツパンカイ
発売日 2018年6月6日
商品ジャンル 本・雑誌・コミック > 科学・医学・技術 > 工学 > 電気工学
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商品詳細情報

書名カナ チョウ ヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メサ
著者名 江刺正喜、宮口裕
著者名カナ エサシ,マサヨシ、ミヤグチ,ヒロシ
発行者 東北大学出版会
発行者カナ トウホクダイガクシユツパンカイ
ページ数 228p
サイズ 21
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