ISBNコード 9784861632969
超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して /東北大学出版会/江刺正喜
商品基本情報
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コード番号 | 9784861632969 |
コードタイプ | ISBN |
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商品名 | 超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して /東北大学出版会/江刺正喜 |
品番/型番 | 9784861632969 |
会社名 | 東北大学出版会 |
会社名カナ | トウホクダイガクシユツパンカイ |
発売日 | 2018年6月6日 |
商品ジャンル | 本・雑誌・コミック > 科学・医学・技術 > 工学 > 電気工学 |
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商品詳細情報
書名カナ | チョウ ヘイレツ デンシ ビーム ビョウガ ソウチ ノ カイハツ シュウセキ カイロ ノ ディジタル ファブリケーション オ メサ |
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著者名 | 江刺正喜、宮口裕 |
著者名カナ | エサシ,マサヨシ、ミヤグチ,ヒロシ |
発行者 | 東北大学出版会 |
発行者カナ | トウホクダイガクシユツパンカイ |
ページ数 | 228p |
サイズ | 21 |
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