ISBNコード 9784769311645
半導体平坦化CMP技術 超LSI製造のキ-プロセス /工業調査会/土肥俊郎
商品基本情報
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コード番号 | 9784769311645 |
コードタイプ | ISBN |
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商品名 | 半導体平坦化CMP技術 超LSI製造のキ-プロセス /工業調査会/土肥俊郎 |
品番/型番 | 9784769311645 |
会社名 | 工業調査会 |
会社名カナ | コウギヨウ チヨウサカイ |
発売日 | 1998年07月 |
商品ジャンル | 本・雑誌・コミック > 科学・医学・技術 > 工学 > 電気工学 |
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商品詳細情報
書名カナ | ハンドウタイ ヘイタンカ シーエムピー ギジュツ チョウ エルエスアイ セイゾウ ノ キー プロセス |
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著者名 | 土肥俊郎 |
著者名カナ | ドイ,トシロウ |
シリーズ名 | K books series |
シリーズ名カナ | ケイ ブックス シリーズ |
発行者 | 工業調査会 |
発行者カナ | コウギヨウチヨウサカイ |
ページ数 | 307p |
サイズ | 19 |
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